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斜入射光柵單色器采用斜入射式結構，利?平面光柵進行分光，具有較高的傳輸效率，同時對光譜脈沖寬度展寬較小，可以實現點到點的單色光成像。主要用于極紫外波段的光譜測量和分光實驗。

真空紫外分光光度計是一種專門用于測量材料在10-200 nm波長范圍內（即真空紫外區）的吸光度、反射率或透射率的精密分析儀器。它與普通紫外-可見分光光度計的核心區別就在于其真空密封的光路系統和適用于該波段的特殊光學元件。

超環面光柵單色器 是一種利用表面形狀為超環面的衍射光柵，將寬波段、連續譜的入射光（如同步輻射光）在空間上進行色散，并從中選擇出單一波長的單色光輸出的精密光學裝置。